應用產業：光阻烘烤產業, 粉末乾燥產業, 光電產業, 真空加熱製程產業等等
製程簡述：適用於需要真空與溫度兩種條件之製程

(1) 功能 : 可做真空環境測試，低溫環境測試，高溫環境測試
(2) 溫度 : Max 350 度
(3) 電器控制 : 採高溫加熱組搭配PID+SCR控制器系統，壓力檢測及真空運轉系統數位式計時器，操作方便
(4) 特點 : 真空度可達 1 torr可於無塵環境下使用